使用质量流量控制器注意事项
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐,智能流体数字控制模块多少钱, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
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质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么?
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~ 5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,智能流体数字控制模块价格, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 定量控制流量
质量流量控制器可以控制气体的给定量,智能流体数字控制模块报价,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL)
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体积流量的表示方法
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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