什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,小型质量流量计,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备,小型质量流量计哪家好, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。
气体质量流量控制器对于气体的要求
1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。
如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,小型质量流量计报价,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。
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